TESCOM,12系列无弹簧无螺纹压力调节器特点
产品介绍:
品牌:TESCOM
型号:12系列
品名:压力调节器
产品基本介绍:
12系列是一款微型超高纯IGS/录像机减压调节器。12系列提供5 Ra或10 Ra微英寸抛光、打结隔膜和内部无弹簧无螺纹设计。它提供150磅/平方英寸/ 10.3巴的入口压力,250毫米汞柱-15、30、60、100磅/平方英寸/ 250毫米汞柱-1.0、2.1、4.1、6.9巴的出口压力,流速*高可达120 SLPM。非常适合在原始设备制造商工具、气体箱和低压气体柜中使用。
产品特点:
1、原始设备制造商气体系统的首选产品
2、超灵敏压力控制增强MFC性能
3、广泛应用中的卓越性能
4、从2 SCFM流向120 SLPM
5、微元件中无与伦比的下垂和可重复性
6、金属对金属隔膜对阀体密封,实现高泄漏完整性
7、10 Ra或5 Ra微英寸内表面光洁度
8、符合SEMI F19和SEMIN模块化接口规范
产品规格:
产品规格:
工作温度:
-40°F至140°F/-40°C至60°C
-40°F至140°F/-40°C至60°C
连接:
焊接配件:1/4录像机或短管
焊接配件:1/4录像机或短管
表面贴装:1.125或1.50封装
流量:
标准:Cv = 0.04
标准:Cv = 0.04
高流量:Cv = 0.08
压力等级:
入口压力:
入口压力:
150 psig / 10.3 bar
出口压力:
250毫米汞柱-15磅/平方英寸/ 250毫米汞柱-1.0巴
0-30、0-60、0-100 psig / 0-2.1、0-4.1、0-6.9 bar
材料:
车身:316升VAR不锈钢
车身:316升VAR不锈钢
隔膜:哈氏合金
座位:PCTFE
阀杆:哈司特镍合金
剩余材料:316升VAR不锈钢
产品图片:
产品图片: